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低消費電力だからランニングコストが削減

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低消費電力だからランニングコストを削減

消費電力は従来のクリーンルームの1/3。スリープモードを利用すれば1/10の消費電力で運用できます

クリーンルームはランニングコスト(電気代)が高かった

一般的なクリーンルームは、天井部分に設置したFFU(ファンフィルターユニット)から清浄化された空気を室内に送り込むと同時に、室内の空気を屋外に排出(或いは屋内で循環)してクリーンゾーンを形成しています。給排気を常に行わなくてはいけないため、運用にはかなり高額なランニングコスト(電気代)が必要になってしまいます。
また、クリーンルームは清浄度を形成するまでに時間を要するので、使用する前の準備運転もランニングコスト(電気代)への負担になってしまいます。

フロアーコーチは従来クリーンルームの約1/3の消費電力で運用できる

給気システムと排気システムの両方を必要とする従来型のクリーンシステムとは異なり、フロアーコーチは給気したプッシュ気流を衝突壁にぶつけ、コンタミナントと一緒に外部に排出することでクリーンゾーンを形成するので排気システムを必要としません。また、その高い排出力から、短時間でクリーンゾーンを形成できるため、作業を開始するまでの準備運転に長い時間を必要としません。
新しい考え方のクリーンルーム「フロアーコーチ」であれば、従来クリーンルームの約1/3の消費電力で運用することができます。

フロアーコーチはスリープモードの利用で消費電力をさらに1/3にできる

フロアーコーチEzpは、作業休止時に、オープン部分をスライドスクリーンによって閉じる「スリープモード」運転にすれば、通常運転時の1/3以下の電力量でフロアーコーチを運転することができます。
作業を行わない休憩時や夜間、休日などはスリープモードを活用すれば、高い清浄度を維持したままで稼動のための消費電力を抑えることができるため、ランニングコスト(電気代)を削減することができます。
一般的なのクリーンルームの消費電力と比較すれば、フロアーコーチの通常運転時で約1/3、スリープモード時には約1/10の消費電力で運転が可能です。

スリープモードのシステム

作業休止時に、オープン部分をスライドスクリーンによって閉じる「スリープモード」運転にすれば、通常運転時の30%程度の電力量でフロアーコーチを運転することができます。

プッシュフード本体は、オープン部分のスライドスクリーンが閉まることによるクリーンゾーンの内圧の変化を感知し、自動で送風量を抑えます。ルーム内は陽圧の状態(常にクリーンな空気がルームの外側へ排出され、コンタミネーションの侵入を防いでいる状態)が保たれ、清浄度を維持したまま消費電力を抑えることが可能です。

採用事例紹介

  • 株式会社 島根富士通 様(CHSニュース2013年9月掲載)

    「『フロアーコーチを導入して1年、コンタミ問題は一度もない』レイアウト変更が自由な新発想のクリーンルームは、我々の「生産革命」に合致」

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