クリーンベンチとは
クリーンベンチは、ゴミやホコリ、浮遊微生物などの混入（コンタミネーション）を防ぐために一定の清浄度レベルになるように管理された囲いの付いた作業台です。 フィルタを通した清浄空気を作業対象物に対して直接流れるようにすることで、清浄度の低い室内で局所的に高い清浄度をつくり出すことができます。 送風機、高性能エアフィルタ（ＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタなど）、照明を基本として、必要に応じて水道、ガス、流し、排気などの機能が付いているものもあります。 クリーンベンチの構造、性能、試験方法は、JIS B9922で規定されています。
クリーンベンチの構造
クリーンベンチの構造はJIS B9922の規定の中で以下のように示されています。
- A)保守、点検及び整備が容易にできる構造とする。
- B)作業空間の壁面は、容易にはく離及びさびを発生しないものとする。
- C)ろ過されていない空気が作業空間に流入しない構造とする。
- D)クリーンベンチ本体を接地可能な構造とする。
- E)主エアフィルタは、HEPA又はULPAフィルタでなければならない。
- F)フィルタは、通常の空気条件において、容易に変質及び腐食しないものとする。また、保守又は、整備・交換のために容易に脱着できるものとする。
- G)主エアフィルタの取り付け部は、経年変化に対してエアロゾルの漏れがない構造とする。
- H)酸、有機溶剤、生物粒子、有毒ガスなどを取り扱う機種の場合、これらを含んだ空気が所定の経路から排気できる構造とする。
- I)防爆構造のものは、JIS C 0903に規定する構造とする。
- J)照明灯と殺菌灯を備えているクリーンベンチにあっては、受渡当事者間の協定がない限り，同時には点灯してはならない。
クリーンベンチの種類
クリーンベンチは、作業内容に応じて様々な機能が付加された種類があります。
| 分類 | 特徴 |
|---|---|
| 装置組み込み型クリーンベンチ | 作業台を取り外し、床置きの装置が組み込まれる構造 |
| 無振動型クリーンベンチ | 作業台と本体が分離されており、振動が直接伝わらない構造 |
| 乾燥型クリーンベンチ | 赤外線ランプ等を取り付け、作業台で乾燥が行える構造 |
| ライトテーブル型クリーンベンチ | 作業台面をアクリルやガラスなどで組み合わせ、蛍光灯を組み込んだ構造 |
| 排気型クリーンベンチ | 作業台の一部、または全面で排気ができる構造 |
| 給排水型クリーンベンチ | 作業台の一部、または全面が流しになっており、正面に給水栓が取り付けられている構造 |
| 循環型クリーンベンチ | 清浄空気を装置外に放出せずに循環させる構造 |
クリーンベンチの特徴
