クリーンシステムとは
清浄度クラス
クリーンシステムが作り出す空間のきれいさの程度は、「清浄度クラス」で表現します。現在、日本国内では清浄度クラスの規格として、米国連邦規格（Fed,Std.209）とISO規格（ISO14644-1）が併用されています。これまで広く活用されてきた米国連邦規格が2001年に廃止され、今では国際規格であるISO規格が主流になりつつあります。
米国連邦規格では1ft
3中に含まれる粒径0.5μm以上の微小粒子の数を規定し、クラス1～100,000で分類しています。それに対し、ISO 規格では、清浄度クラスを1㎥中に含まれる粒径0.1μm以上の微小粒子の数で等級分けし、クラス1から9で分類しています。
◆ISO規格（ISO14644-1）
クリーンルーム4原則と清浄度の維持
一般的に、クリーンベンチやクリーンルームなどのクリーンシステムの清浄度レベルは、高性能フィルタ（HEPAフィルタやULPAフィルタなど）を通過する清浄空気の量とクリーンゾーン内での発じん量により決まります。ただし、運用中においても高い清浄度を維持するためには、クリーンシステムを導入するだけでなく、清浄度を維持するための管理も重要です。「発生させない」「持ち込まない」「堆積させない」「速やかに除去する」という4つはクリーンルームの４原則と呼ばれていますが、本来はどのクリーンシステムを運用するときでも必要になる考え方です。
しかし、実際にクリーンシステムを使用する上では、「人が作業する」「装置を稼動させる」「器材などを持ち込む」といった動作でゴミやホコリなどのコンタミナントはクリーンゾーン内で必ず発生したり持ち込まれたりしてしまいます。定期的な清掃などによって除去し、堆積させないようにしますが、作業管理だけでこれらを完璧に実現するのは困難です。そのため、クリーンシステム自体の機能としても「速やかに除去」し、「堆積させない」ことが求められてきています。現在、広く使用されているクリーンシステムは、囲う構造によって外気の侵入を防ぐ一方で、内部で発生しゴミやホコリが出て行きにくくなっています。
アクチュアルクリーンでのクリーンシステム選び
「アクチュアルクリーン」とは、作業者がクリーンシステムを使用して作業している最中の清浄度を指します。反対に、クリーンゾーン内部に人や装置がなく、使用していない状態の清浄度を「ノミナルクリーン」と呼びます。
クリーンシステムを管理する上で、ノミナルクリーンばかりに目を奪われていると、実際の作業ではコンタミナントが排出できておらず、高いアクチュアルクリーンを維持できないことがあります。高いノミナルクリーンを形成できるシステムはもちろん重要ですが、本来クリーンシステムを用いて防ぎたいコンタミネーションは実際の作業中に発生します。
クリーンシステムを導入する際は、作業によって発生したゴミやホコリ（コンタミナント）を素早く排出できる構造を持つものを選ぶなど、ノミナルクリーンだけでなくアクチュアルクリーンを高く維持すること念頭に置いたクリーンルーム・クリーンベンチ選びが重要です。
